Identificação do Produto
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Item |
Contente |
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Nome do produto |
Ácido Sulfúrico G4 |
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Categoria |
Produto químico eletrônico úmido semicondutor |
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Nome Químico |
Ácido sulfúrico |
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Fórmula Química |
\\(\\boldsymbol{H_2SO_4}\\) |
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Nº CAS |
7664-93-9 |
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Peso molecular |
98.08 |
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Padrão de nota |
Grau SEMI G4 |
Descrição do produto
4 O ácido sulfúrico é um ácido inorgânico forte de ultra{1}}alta{2}}pureza fabricado para fabricação avançada de wafers semicondutores. Produzido por processos especiais de purificação e filtração ultra{4}}fina, apresenta impurezas metálicas com-traços-ultrabaixos e nível de partículas controlado, em conformidade com a especificação SEMI G4. Ele é amplamente utilizado para limpeza de wafer, remoção de fotorresiste, remoção de resíduos orgânicos e tratamento de superfície na fabricação de IC, minimizando o risco de contaminação em processos microeletrônicos-críticos de rendimento.
Aparência:Líquido oleoso incolor, límpido e inodoro.
Especificações Técnicas (Padrão SEMI G4)
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Item de teste |
Especificação |
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Ensaio (\\(H_2SO_4\\)) |
96,0 ~ 98,0% em peso |
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Aparência |
Líquido oleoso incolor e transparente |
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Cor (APHA) |
Menor ou igual a 10 |
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Densidade a 20 graus |
1,83-1,85g/cm³ |
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Resíduo de Evaporação |
Menor ou igual a 100 ppb |
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Partículas maiores ou iguais a 0,2 μm |
Menor ou igual a 100 unidades/mL |
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Traços de metal individuais (Al, Fe, Cu, Na, K, Ca, Mg, Zn, Ni, Cr etc.) |
Menor ou igual a 10 ppb cada |
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Cloreto (\\(Cl^-\\)) |
Menor ou igual a 100 ppb |
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Nitrato (\\(NO_3^-\\)) |
Menor ou igual a 200 ppb |
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Fosfato (\\(PO_4^{3-}\\)) |
Menor ou igual a 200 ppb |
Aplicativos
1.Limpeza de wafer semicondutor, remove contaminantes orgânicos, resíduos de partículas e impurezas metálicas.
2.Processo de decapagem fotorresistente para fabricação de IC.
3.Preparação de soluções químicas mistas-úmidas para processos frontais-de semicondutores.
4.Tratamento de superfície para embalagens avançadas, dispositivos MEMS.
Embalagem
● Tambor HDPE de 330 kg
● Sacola IBC de 1.500 kg
● Tanque contêiner ISO de 20MT (granel)
Preenchido em ambiente-limpo para evitar contaminação secundária.
Armazenamento e validade-
● Armazene em local fresco, seco e bem{0}}ventilado, bem fechado, longe de umidade, calor e substâncias incompatíveis.
● Evite a luz solar direta.
● Validade-: 12 meses sob condições de armazenamento recomendadas.
Observações sobre manuseio e segurança
● Material corrosivo forte. Use EPI-resistente a ácidos (óculos de proteção, luvas-à prova de ácidos, avental) durante a operação.
● Sempre adicione ácido lentamente à água; nunca despeje água em ácido sulfúrico concentrado (forte reação exotérmica).
● Consulte a FDS correspondente para obter informações completas sobre perigos, primeiros-socorros, tratamento de derramamentos e orientações sobre transporte.
Garantia de qualidade
Cada entrega deverá ser acompanhada de um Certificado de Análise (COA) específico-do lote. Todos os procedimentos de produção e enchimento seguem o controle-de sala limpa para atender aos requisitos de contaminação SEMI G4.
Certificado de Análise
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Nome do produto |
Nota |
Massa molecular relativa |
Fórmula molecular |
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Ácido sulfúrico |
Produtos químicos eletrônicos G4 |
98.07 |
H2ENTÃO4 |
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Inspecionar itens |
Especificações |
Inspecionar itens |
Especificações |
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Aparência |
Líquido transparente incolor |
Níquel (Ni), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Ensaio (H2SO4),% |
Maior ou igual a 96,0 |
Cúprico (Cu), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Cromaticidade, unidades Hazen |
Menor ou igual a 10 |
Zinco (Zn), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Resíduo de queima (como sulfúrico), ppm |
Menor ou igual a 2 |
Gálio (Ga), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Cloreto (Cl), ppb |
Menor ou igual a 50 |
Germânio (Ge), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Nitrato (NO3), ppb |
Menor ou igual a 50 |
Arsênico (As), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Sal de amônio (NH4), ppb |
Menor ou igual a 100 |
Estrôncio (Sr), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Substância reduzida de permanganato de potássio (asSO2), ppm |
Menor ou igual a 2 |
Zircônio (Zr), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Lítio (Li), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Nióbio (Nb), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Berílio (Be), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Molibdênio (Mo), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Boro (B), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Prata (Ag), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Sódio (Na), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Cádmio (Cd), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Magnésio (Mg), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Estanho (Sn), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Alumínio (Al), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Bário (Ba), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Potássio (K), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Tântalo (Ta), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Cálcio (Ca), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Ouro (Au), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Titânio (Ti), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Tálio (Tl), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Vanádio (V), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Chumbo (Pb), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Cromo (Cr), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Bismuto (Bi), ppt |
Menor ou igual a 100 |
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Manganês (Mn), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Partículas (maiores ou iguais a 0,2μm), número/mL |
Menor ou igual a 300 |
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Ferro (Fe), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Partículas (maiores ou iguais a 0,3μm), número/mL |
Menor ou igual a 100 |
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Cobalto (Co), ppt |
Menor ou igual a 100 |
Partículas (maiores ou iguais a 0,5μm), número/mL |
Menor ou igual a 5 |
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